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高頻振蕩器發生的高頻電流，經過耦合系統連接在位于等離子體發生管上端，銅制內部用水冷卻的管狀線圈上。石英制成的等離子體發生管內有三個同軸氬氣流經通道。冷卻氣(Ar)通過外部及中間的通道，環繞等離子體起穩定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。工作氣體(Ar)則由中部的石英管道引入，開始工作時啟動高壓放電裝置讓工作氣體發生電離，被電離的氣體經過環繞石英管頂部的高頻感應圈時，線圈產生的巨大熱能和交變磁場，使電離氣體的電子、離子和處于基態的氖原子發生反復猛烈的碰撞，各種粒子的高速運動，導致氣體完全電離形成一個類似線圈狀的等離子體炬區面，此處溫度高達6000一10000攝氏度。樣品經處理制成溶液后，由超霧化裝置變成全溶膠由底部導入管內，經軸心的石英管從噴咀噴入等離子體炬內。樣品氣溶膠進入等離子體焰時，絕大部分立即分解成激發態的原子、離子狀態。當這些激發態的粒子回收到穩定的基態時要放出一定的能量(表現為一定波長的光譜)，測定每種元素特有的譜線和強度，和標準溶液相比，就可以知道樣品中所含元素的種類和含量。

原子吸收是指呈氣態的原子對由同類原子輻射出的特征譜線所具有的吸收現象。

介于原子發射(AES)和原子吸收(AAS)之間的光譜分析技術，其原理類似于原子發射光譜技術。通過測量待測元素的原子蒸氣在特定頻率輻射能激發下所產生的熒光發射強度，以此來測定待測元素含量的方法。

紅外光譜儀是利用物質對不同波長的紅外輻射的吸收特性，進行分子結構和化學組成分析的儀器。紅外光譜儀通常由光源，單色器，探測器和計算機處理信息系統組成。根據分光裝置的不同，分為色散型和干涉型。對色散型雙光路光學零位平衡紅外分光光度計而言，當樣品吸收了一定頻率的紅外輻射后，分子的振動能級發生躍遷，透過的光束中相應頻率的光被減弱，造成參比光路與樣品光路相應輻射的強度差，從而得到所測樣品的紅外光譜。

紫外可見分光光度計，工作原理如下：由于分子中的某些基團吸收了紫外可見輻射光后，發生了電子能級躍遷而產生的吸收光譜。由于各種物質具有各自不同的分子、原子和不同的分子空間結構，其吸收光能量的情況也就不會相同，因此，每種物質就有其特有的、固定的吸收光譜曲線，根據這一特性，可對物質進行定性分析。由于物質濃度的不同，吸收光譜上的某些特征波長處的吸光度也不相同，從而通過對物質吸光度或透過率的測量判定該物質的含量，這就是分光光度定性和定量分析的基礎，也是分析儀器紫外可見分光光度計的工作原理。

直讀光譜儀的全稱是火花光電直讀光譜儀，它的原理是，待測物品經過電火花或者說電弧的激發，從固態直接汽化，稱為原子蒸汽，經過電弧火花原子的內部發生了一系列反應，各元素發射出特征波長，這些波長經過分光，再經過感光元件，被檢測到，進行模數轉換，從光信號變成電信號，最后經過計算機的一系列計算，得到元素的百分比含量，這個過程是直讀光譜儀的原理，把最后的結果打印出來。